Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Галаев, А. А.
Изменение состава легированного молекулярного пучка при использовании метода испарения из тонкой висящей капли / А. А. Галаев, С. Ли // Труды Московского института стали и сплавов : науч. труды / МИСиС . – М. : Металлургия. - Вып.83: Твердые растворы элементарных полупроводников и полупроводниковых соединений : Сборник статей / МИСиС, С. С. Горелик, С. С. Горелик . – М. : Металлургия, 1974 . – 133-145 .

Описан автотигельныйспособ получения молекулярного пучка кремния из тонкой висящей капли для выращивания эпитаксиальных слоев. Получено уравнение, описывающее изменение состава легированного расплава кремния - источника во времени, которое удовлетворительно описывает экспериментальные результаты, полученные для расплава кремния, легированного бором, сурьмой и фосфором.