Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Малинин, А. Ю. - Процессы легирования автоэпитаксиальных слоев кремния
Малинин, А. Ю. - Процессы легирования автоэпитаксиальных слоев кремния
Книга (аналит. описание)
Автор: Малинин, А. Ю.
Вып.89: Поверхностные явления в полупроводниках: Процессы легирования автоэпитаксиальных слоев кремния
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Малинин, А. Ю.
Вып.89: Поверхностные явления в полупроводниках: Процессы легирования автоэпитаксиальных слоев кремния
б.г.
ISBN отсутствует
На полку
Книга (аналит. описание)
Малинин, А. Ю.
Процессы легирования автоэпитаксиальных слоев кремния / А. Ю. Малинин, В. И. Шачнев, В. П. Шутиков // Труды Московского института стали и сплавов : науч. труды / МИСиС . – М. : Металлургия. - Вып.89: Поверхностные явления в полупроводниках : Сб.статей / МИСиС, С. С. Горелик . – М. : Металлургия, 1976 . – 60-71 .
На основе выполненных исследований предложена модель процесса легирования и автолегирования эпитаксиальных слоев кремния в хлоридном и гидридном процессах.
Малинин, А. Ю.
Процессы легирования автоэпитаксиальных слоев кремния / А. Ю. Малинин, В. И. Шачнев, В. П. Шутиков // Труды Московского института стали и сплавов : науч. труды / МИСиС . – М. : Металлургия. - Вып.89: Поверхностные явления в полупроводниках : Сб.статей / МИСиС, С. С. Горелик . – М. : Металлургия, 1976 . – 60-71 .
На основе выполненных исследований предложена модель процесса легирования и автолегирования эпитаксиальных слоев кремния в хлоридном и гидридном процессах.
Привязано к:
Доступно
4 из 4
Книга
МИСиС
Вып.89: Поверхностные явления в полупроводниках: Сб.статей
Металлургия, 1976 г.
ISBN отсутствует
Библиотека МИСиС : Научный
МИСиС
Вып.89: Поверхностные явления в полупроводниках: Сб.статей
Металлургия, 1976 г.
ISBN отсутствует
Библиотека МИСиС : Научный