Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Кустов, И. Ф. - Эпитаксиальное наращивание кремниевых слоев газотранспортным методом из паро-газовой смеси состав...
Кустов, И. Ф. - Эпитаксиальное наращивание кремниевых слоев газотранспортным методом из паро-газовой смеси состав...
Книга (аналит. описание)
Автор: Кустов, И. Ф.
Вып.89: Поверхностные явления в полупроводниках: Эпитаксиальное наращивание кремниевых слоев газотранспортным методом из паро-газовой смеси состав...
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Кустов, И. Ф.
Вып.89: Поверхностные явления в полупроводниках: Эпитаксиальное наращивание кремниевых слоев газотранспортным методом из паро-газовой смеси состав...
б.г.
ISBN отсутствует
На полку
Книга (аналит. описание)
Кустов, И. Ф.
Эпитаксиальное наращивание кремниевых слоев газотранспортным методом из паро-газовой смеси состава SiCl4+PCl3+H2 / И. Ф. Кустов, А. С. Кузнецов // Труды Московского института стали и сплавов : науч. труды / МИСиС . – М. : Металлургия. - Вып.89: Поверхностные явления в полупроводниках : Сб.статей / МИСиС, С. С. Горелик . – М. : Металлургия, 1976 . – 74-86 .
Приведены результаты изучения процессов роста и легирования эпитаксиальных слоев кремния.
Кустов, И. Ф.
Эпитаксиальное наращивание кремниевых слоев газотранспортным методом из паро-газовой смеси состава SiCl4+PCl3+H2 / И. Ф. Кустов, А. С. Кузнецов // Труды Московского института стали и сплавов : науч. труды / МИСиС . – М. : Металлургия. - Вып.89: Поверхностные явления в полупроводниках : Сб.статей / МИСиС, С. С. Горелик . – М. : Металлургия, 1976 . – 74-86 .
Приведены результаты изучения процессов роста и легирования эпитаксиальных слоев кремния.
Привязано к:
Доступно
4 из 4
Книга
МИСиС
Вып.89: Поверхностные явления в полупроводниках: Сб.статей
Металлургия, 1976 г.
ISBN отсутствует
Библиотека МИСиС : Научный
МИСиС
Вып.89: Поверхностные явления в полупроводниках: Сб.статей
Металлургия, 1976 г.
ISBN отсутствует
Библиотека МИСиС : Научный