Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Крапухин, В. В.
Воздействие ионной бомбардировки поверхности на свойства диэлектрического слоя SiO2, получаемого разложением тетраэтоксисилана / В. В. Крапухин, Г. Д. Кузнецов, А. Г. Петрик, В. Н. Полунин, В. П. Токарев, Д. П. Уткин-Эдин, Э. С. Фалькевич // Труды Московского института стали и сплавов : науч. труды / МИСиС . – М. : Металлургия. - Вып.89: Поверхностные явления в полупроводниках : Сб.статей / МИСиС, С. С. Горелик . – М. : Металлургия, 1976 . – 119-121 .

Исследовано влияние ионной бомбардироваки поверхности растущего слоя SiO2 на его диэлектрические свойства.