Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Ковалев, А. Н. - Деформация кремниевых матриц с диэлектрической изоляцией при изготовлении микросхем
Ковалев, А. Н. - Деформация кремниевых матриц с диэлектрической изоляцией при изготовлении микросхем
Книга (аналит. описание)
Автор: Ковалев, А. Н.
Вып.89: Поверхностные явления в полупроводниках: Деформация кремниевых матриц с диэлектрической изоляцией при изготовлении микросхем
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Ковалев, А. Н.
Вып.89: Поверхностные явления в полупроводниках: Деформация кремниевых матриц с диэлектрической изоляцией при изготовлении микросхем
б.г.
ISBN отсутствует
На полку
Книга (аналит. описание)
Ковалев, А. Н.
Деформация кремниевых матриц с диэлектрической изоляцией при изготовлении микросхем / А. Н. Ковалев, А. И. Куртайкин, К. С. Маршалова, В. В. Голанд, М. Э. Пуусепп // Труды Московского института стали и сплавов : науч. труды / МИСиС . – М. : Металлургия. - Вып.89: Поверхностные явления в полупроводниках : Сб.статей / МИСиС, С. С. Горелик . – М. : Металлургия, 1976 . – 126-130 .
Установлена корреляция изгиба кремниевых матриц с микротвердостью поверхности поликристаллического кремния и площадью выявленных изолированных островков монокристаллического кремния.
Ковалев, А. Н.
Деформация кремниевых матриц с диэлектрической изоляцией при изготовлении микросхем / А. Н. Ковалев, А. И. Куртайкин, К. С. Маршалова, В. В. Голанд, М. Э. Пуусепп // Труды Московского института стали и сплавов : науч. труды / МИСиС . – М. : Металлургия. - Вып.89: Поверхностные явления в полупроводниках : Сб.статей / МИСиС, С. С. Горелик . – М. : Металлургия, 1976 . – 126-130 .
Установлена корреляция изгиба кремниевых матриц с микротвердостью поверхности поликристаллического кремния и площадью выявленных изолированных островков монокристаллического кремния.
Привязано к:
Доступно
4 из 4
Книга
МИСиС
Вып.89: Поверхностные явления в полупроводниках: Сб.статей
Металлургия, 1976 г.
ISBN отсутствует
Библиотека МИСИС : Научный
МИСиС
Вып.89: Поверхностные явления в полупроводниках: Сб.статей
Металлургия, 1976 г.
ISBN отсутствует
Библиотека МИСИС : Научный