Электронный каталог -Миронов, А. С. - Разработка галогенидного процесса получения в высокочастотном тлеющем разряде структур Si-SiO2- Absopac

Поиск :

Личный кабинет :

Электронный каталог: Миронов, А. С. - Разработка галогенидного процесса получения в высокочастотном тлеющем разряде структур Si-SiO2

Миронов, А. С. - Разработка галогенидного процесса получения в высокочастотном тлеющем разряде структур Si-SiO2

Доступно
1 из 1

Диссертация
Автор: Миронов, А. С.
Разработка галогенидного процесса получения в высокочастотном тлеющем разряде структур Si-SiO2 : дис... к.т.н., спец. 05.17.16
Издательство: [МИСиС], 1982 г.
ISBN отсутствует

Заказать

На полку

Диссертация
М-641дсп

Миронов, А. С.
Разработка галогенидного процесса получения в высокочастотном тлеющем разряде структур Si-SiO2 : дис... к.т.н., спец. 05.17.16 / А. С. Миронов, Г. Д. Кузнецов . – М. : [МИСиС], 1982 . – 200 с. + Библиогр.: с. 187-200. - (Для служебного пользования).

Общий = Химия : неорганическая химия : периодическая система элементов : кремний
Общий = Электротехника : электроника : полупроводниковая электроника

СП-14813 21:Фонд дис.ДСП МИСиС