Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

2. Методы формирования наноэлектронных структур // Наноэлектроника. Теория и практика : учебник / В. Е. Борисенко, А. И. Воробьева, А. Л. Данилюк, Е. А. Уткина . – 2-е изд., перераб. и доп . – М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2013 . – С. 64-197 . – (Учебник для высшей школы) .