Электронный каталог -Харламов, Н. А. - Ионно-плазменное получение и возможность использования слоев твердого раствора на основе (SiC)1-x...- Absopac

Поиск :

Личный кабинет :

Электронный каталог: Харламов, Н. А. - Ионно-плазменное получение и возможность использования слоев твердого раствора на основе (SiC)1-x...

Харламов, Н. А. - Ионно-плазменное получение и возможность использования слоев твердого раствора на основе (SiC)1-x...

Доступно
1 из 1

Автореферат
Автор: Харламов, Н. А.
Ионно-плазменное получение и возможность использования слоев твердого раствора на основе (SiC)1-x... : автореф. дис... к.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники"
Издательство: [МИСиС], 2015 г.
ISBN отсутствует

полный текст

Заказать

На полку

Автореферат
Х-211а

Харламов, Н. А.
Ионно-плазменное получение и возможность использования слоев твердого раствора на основе (SiC)1-x(AlN)x на монокристаллическом кремнии : автореф. дис... к.т.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" / Н. А. Харламов ; науч. рук. Г. Д. Кузнецов . – М. : [МИСиС], 2015 . – 25с. : рис. + Библиогр.: с. 22-25 . – URL: http://lib.msk.misis.ru/elib/view.php?id_abs=987689593 .

621.315.592.2:546.28-165:621.382.049.772(043.3)

Общий = Материаловедение : полупроводники
Общий = Кристаллография : кристаллы : виды : монокристаллы

536222 19:Фонд дис.МИСИС