Электронный каталог библиотеки МИСИС

👓
eng|rus
Библиотека МИСИС
Режим работы:
Читальный зал Пн-Пт 10:00-18:00
Абонементы Пн-Чт 10:00-17:00,
Пт 10:00-16:00
Обед 12:00-13:00
В период каникул Вт, Чт 14:00-16:00
сайт: lib.misis.ru
e-mail: swt@ntb.misis.ru

Поиск :

  • Новые поступления
  • Расширенный поиск
  • Поиск одной строкой
  • Дискавери

  • Авторы
  • Издательства
  • Серии
  • Тезаурус (Рубрики)
  • Публичные полки

  • Учебная литература:
    • По дисциплинам
    • По специальностям
    • По специализациям
    • По кафедрам
    • Список дисциплин

  • Информация о фонде

  • · Журналы
  • · Электронная библиотека МИСИС
  • · Другие электронные учебники
  • · Все электронные ресурсы

  • Помощь

Личный кабинет :


Электронный каталог: Киреев, В. Ю. - Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование

Киреев, В. Ю. - Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование

Доступно
 3 из 3
Книга
Автор: Киреев, В. Ю.
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование : учебно-справ. рук-во
Издательство: Интеллект, 2016 г.
ISBN 978-5-91559-215-4

Заказать Заказать

На полку На полку


Книга
VIII-5 К-43

Киреев, В. Ю.
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование : учебно-справ. рук-во / В. Ю. Киреев . – Долгопрудный : Интеллект, 2016 . – 319с. : рис. + Библиогр.: с. 314-319 . - ISBN 978-5-91559-215-4 : 1210р.

621.382.0.049.77:620.3(075.8)

Общий = Электротехника : электроника
Общий = Материаловедение : наноматериалы : нанотехнология
Общий = Электротехника : электротермия : электронагревательное оборудование

545072 01:Книгохранение
545073 01:Книгохранение
545074 01:Книгохранение



Связанные описания:

Отобрать для печати: страницу | инверсия | сброс | печать(0)

Книга (аналит. описание)

9. Процессы и оборудование размерного травления функциональных слоев в технологических маршрутах ...
б.г.
ISBN отсутствует


На полку На полку


Книга (аналит. описание)

8. Основные комплектующие изделия и материалы, используемые в оборудовании и технологии (технике)...
б.г.
ISBN отсутствует


На полку На полку


Книга (аналит. описание)

7. Базовые технологические маршруты и оборудование участков нанолитографии. Операционные и констр...
б.г.
ISBN отсутствует


На полку На полку


Книга (аналит. описание)

6. Основные физические и химические принципы и ограничения, лежащие в основе техники (технологии ...
б.г.
ISBN отсутствует


На полку На полку


Книга (аналит. описание)

5. Основные физические и химические принципы и ограничения, лежащие в основе техники (технологии ...
б.г.
ISBN отсутствует


На полку На полку


Книга (аналит. описание)

4. Техника повышения разрешения процессов оптической нанолитографии и тенденции их развития
б.г.
ISBN отсутствует


На полку На полку


Книга (аналит. описание)

3. Основные физические и химические принципы и ограничения, лежащие в основе техники (технологии ...
б.г.
ISBN отсутствует


На полку На полку


Книга (аналит. описание)

2. Основные виды процессов нанолитографии, используемых в производстве интегральных приборов, схе...
б.г.
ISBN отсутствует


На полку На полку


Книга (аналит. описание)

1. Основные определения, роль и место процессов нанолитографии в технологических маршрутах произв...
б.г.
ISBN отсутствует


На полку На полку


© Все права защищены ООО "Компания Либэр" , 2009 - 2025  v.20.167