Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: 1. Основные определения, роль и место процессов нанолитографии в технологических маршрутах произв...
1. Основные определения, роль и место процессов нанолитографии в технологических маршрутах произв...
Книга (аналит. описание)
Автор:
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: 1. Основные определения, роль и место процессов нанолитографии в технологических маршрутах произв...
б.г.
ISBN отсутствует
Автор:
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: 1. Основные определения, роль и место процессов нанолитографии в технологических маршрутах произв...
б.г.
ISBN отсутствует
Книга (аналит. описание)
1. Основные определения, роль и место процессов нанолитографии в технологических маршрутах производства интегральных приборов, схем и систем с субстананометровыми топологическими нормами // Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование : учебно-справ. рук-во / В. Ю. Киреев . – Долгопрудный : Интеллект, 2016 . – С. 19-46 .
1. Основные определения, роль и место процессов нанолитографии в технологических маршрутах производства интегральных приборов, схем и систем с субстананометровыми топологическими нормами // Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование : учебно-справ. рук-во / В. Ю. Киреев . – Долгопрудный : Интеллект, 2016 . – С. 19-46 .