Электронный каталог библиотеки МИСИС

👓
eng|rus
Библиотека МИСИС
Режим работы:
Читальный зал Пн-Пт 10:00-18:00
Абонементы Пн-Чт 10:00-17:00,
Пт 10:00-16:00
Обед 12:00-13:00
В период каникул Вт, Чт 14:00-16:00
сайт: lib.misis.ru
e-mail: swt@ntb.misis.ru

Поиск :

  • Новые поступления
  • Расширенный поиск
  • Поиск одной строкой
  • Дискавери

  • Авторы
  • Издательства
  • Серии
  • Тезаурус (Рубрики)
  • Публичные полки

  • Учебная литература:
    • По дисциплинам
    • По специальностям
    • По специализациям
    • По кафедрам
    • Список дисциплин

  • Информация о фонде

  • · Журналы
  • · Электронная библиотека МИСИС
  • · Другие электронные учебники
  • · Все электронные ресурсы

  • Помощь

Личный кабинет :


Электронный каталог: 2. Основные виды процессов нанолитографии, используемых в производстве интегральных приборов, схе...

2. Основные виды процессов нанолитографии, используемых в производстве интегральных приборов, схе...

Книга (аналит. описание)
Автор:
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: 2. Основные виды процессов нанолитографии, используемых в производстве интегральных приборов, схе...
б.г.
ISBN отсутствует

На полку На полку


Книга (аналит. описание)

2. Основные виды процессов нанолитографии, используемых в производстве интегральных приборов, схем и систем с субстананометровыми топологическими нормами // Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование : учебно-справ. рук-во / В. Ю. Киреев . – Долгопрудный : Интеллект, 2016 . – С. 47-71 .






Привязано к:

Отобрать для печати: страницу | инверсия | сброс | печать(0)

Доступно
 3 из 3
Книга
Киреев, В. Ю.
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: учебно-справ. рук-во
Интеллект, 2016 г.
ISBN 978-5-91559-215-4
Библиотека МИСИС : Научный


На полку На полку


© Все права защищены ООО "Компания Либэр" , 2009 - 2025  v.20.167