Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: 2. Основные виды процессов нанолитографии, используемых в производстве интегральных приборов, схе...
2. Основные виды процессов нанолитографии, используемых в производстве интегральных приборов, схе...
Книга (аналит. описание)
Автор:
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: 2. Основные виды процессов нанолитографии, используемых в производстве интегральных приборов, схе...
б.г.
ISBN отсутствует
Автор:
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: 2. Основные виды процессов нанолитографии, используемых в производстве интегральных приборов, схе...
б.г.
ISBN отсутствует
Книга (аналит. описание)
2. Основные виды процессов нанолитографии, используемых в производстве интегральных приборов, схем и систем с субстананометровыми топологическими нормами // Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование : учебно-справ. рук-во / В. Ю. Киреев . – Долгопрудный : Интеллект, 2016 . – С. 47-71 .
2. Основные виды процессов нанолитографии, используемых в производстве интегральных приборов, схем и систем с субстананометровыми топологическими нормами // Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование : учебно-справ. рук-во / В. Ю. Киреев . – Долгопрудный : Интеллект, 2016 . – С. 47-71 .