Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: 3. Основные физические и химические принципы и ограничения, лежащие в основе техники (технологии ...
3. Основные физические и химические принципы и ограничения, лежащие в основе техники (технологии ...
Книга (аналит. описание)
Автор:
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: 3. Основные физические и химические принципы и ограничения, лежащие в основе техники (технологии ...
б.г.
ISBN отсутствует
Автор:
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование: 3. Основные физические и химические принципы и ограничения, лежащие в основе техники (технологии ...
б.г.
ISBN отсутствует
Книга (аналит. описание)
3. Основные физические и химические принципы и ограничения, лежащие в основе техники (технологии и процессов) оптической нанолитографии. Базовый технологический процесс современной фотолитографии // Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование : учебно-справ. рук-во / В. Ю. Киреев . – Долгопрудный : Интеллект, 2016 . – С. 72-108 .
3. Основные физические и химические принципы и ограничения, лежащие в основе техники (технологии и процессов) оптической нанолитографии. Базовый технологический процесс современной фотолитографии // Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование : учебно-справ. рук-во / В. Ю. Киреев . – Долгопрудный : Интеллект, 2016 . – С. 72-108 .