Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: 3. Нанесение тонких пленок с ассистированием источников ICP
3. Нанесение тонких пленок с ассистированием источников ICP
Книга (аналит. описание)
Автор:
Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения: 3. Нанесение тонких пленок с ассистированием источников ICP
б.г.
ISBN отсутствует
Автор:
Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения: 3. Нанесение тонких пленок с ассистированием источников ICP
б.г.
ISBN отсутствует
Книга (аналит. описание)
3. Нанесение тонких пленок с ассистированием источников ICP // Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения / Е. В. Берлин, В. Ю. Григорьев, Л. А. Сейдман . – М. : Техносфера, 2018 . – С. 157-221 .
3. Нанесение тонких пленок с ассистированием источников ICP // Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения / Е. В. Берлин, В. Ю. Григорьев, Л. А. Сейдман . – М. : Техносфера, 2018 . – С. 157-221 .