Электронный каталог -Амбарцумов, М. Г. - Влияние условий плазмоактивированного атомно-слоевого осаждения на микроструктуру, состав и свойс...- Absopac

Поиск :

Личный кабинет :

Электронный каталог: Амбарцумов, М. Г. - Влияние условий плазмоактивированного атомно-слоевого осаждения на микроструктуру, состав и свойс...

Амбарцумов, М. Г. - Влияние условий плазмоактивированного атомно-слоевого осаждения на микроструктуру, состав и свойс...

Доступно
1 из 1

Диссертация
Автор: Амбарцумов, М. Г.
Влияние условий плазмоактивированного атомно-слоевого осаждения на микроструктуру, состав и свойс... : дис... к.хим.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники"
2020 г.
ISBN отсутствует

Заказать

На полку

Диссертация
А-613д

Амбарцумов, М. Г.
Влияние условий плазмоактивированного атомно-слоевого осаждения на микроструктуру, состав и свойства пленок нитрида алюминия : дис... к.хим.н., спец. 05.27.06 - "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" / М.Г. Амбарцумов; науч. рук. В.А. Тарала ; Северо-Кавказ. федер. ун-т . – Ставрополь, 2020 . – 174с. : рис. + Библиогр.: с. 148-170. - Прил.: с. 171-174 .

621.793.1:539.216:546.171.1:669.71(043.3)

Общий = Обработка металлов : нанесение покрытий : осаждение
Общий = Физика : твердое тело : тонкие пленки
Общий = Металлургия : металлургия цветных металлов : легкие металлы

562720 20:Фонд дис.др.орг.