Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: 8. Формирование атомарно-гладких поверхностей монокристаллических подложек карбида кремния электр...
8. Формирование атомарно-гладких поверхностей монокристаллических подложек карбида кремния электр...
Книга (аналит. описание)
Автор:
Нанотехнологии в микроэлектронике: 8. Формирование атомарно-гладких поверхностей монокристаллических подложек карбида кремния электр...
б.г.
ISBN отсутствует
Автор:
Нанотехнологии в микроэлектронике: 8. Формирование атомарно-гладких поверхностей монокристаллических подложек карбида кремния электр...
б.г.
ISBN отсутствует
Книга (аналит. описание)
8. Формирование атомарно-гладких поверхностей монокристаллических подложек карбида кремния электронно-лучевой обработкой // Нанотехнологии в микроэлектронике / С. П. Авдеев, В. И. Авилов, В. О. Агеев, др. ; ред. О. А. Агеев, Б. Г. Коноплев . – М. : Наука, 2019 . – С. 295-335 .
8. Формирование атомарно-гладких поверхностей монокристаллических подложек карбида кремния электронно-лучевой обработкой // Нанотехнологии в микроэлектронике / С. П. Авдеев, В. И. Авилов, В. О. Агеев, др. ; ред. О. А. Агеев, Б. Г. Коноплев . – М. : Наука, 2019 . – С. 295-335 .