Электронный каталог -Сергиенко, А. А. - Процессы микро- и нанотехнологии. Нанесение тонких пленок вакуум-термическим испарением на устано...- Absopac

Поиск :

Личный кабинет :

Электронный каталог: Сергиенко, А. А. - Процессы микро- и нанотехнологии. Нанесение тонких пленок вакуум-термическим испарением на устано...

Сергиенко, А. А. - Процессы микро- и нанотехнологии. Нанесение тонких пленок вакуум-термическим испарением на устано...

Нет экз.

Электронный ресурс
Автор: Сергиенко, А. А.
Процессы микро- и нанотехнологии. Нанесение тонких пленок вакуум-термическим испарением на устано... : учеб. пособие
Издательство: [МИСиС], 2025 г.
ISBN 978-5-907833-51-7

полный текст

На полку

Электронный ресурс

Сергиенко, А. А.
Процессы микро- и нанотехнологии. Нанесение тонких пленок вакуум-термическим испарением на установке ВУП-5 (N 4526) : учеб. пособие / А.А. Сергиенко, А.С. Курочка, С.В. Подгорная ; НИТУ МИСИС, Ин-т новых материалов; Каф. технологии материалов электроники . – М. : [МИСиС], 2025 . – 85с. : рис. + Библиогр.: с. 85 . – URL: http://lib.msk.misis.ru/elib/view.php?id_abs=987783328 . - Пособие МИСиС . - ISBN 978-5-907833-51-7 .

620.3:539.216(075.8)

Грифы = 2: УМО и НМС
УГС = 11.00.00 Электроника, радиотехника и системы связи
УГС = 28.00.00 Нанотехнологии и наноматериалы
Дисциплины = Б1 Дисциплины (модули) : Вариативная часть : Технология тонких пленок
Общий = Материаловедение : наноматериалы : нанотехнология
Общий = Электротехника : электроника : полупроводниковая электроника
Общий = Физика : твердое тело : тонкие пленки