Электронный каталог библиотеки МИСИС

Статья

Дымова, Н. Н.
Совместная имплантация кремния и фосфора в нелегированную и легированную индием подложки GaAs / Атомная структура и неэлектронные свойства полупроводников / Н. Н. Дымова, А. Е. Куницын, А. В. Марков, В. В. Чалдышев // Физика и техника полупроводников . – 1997 . – Т. 31, N 12 . – 1409-1414 .