Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Хесс, Д. - Гл.3. Стимулированное плазмой осаждение из газовой фазы пленок переходных металлов и их силицидов
Хесс, Д. - Гл.3. Стимулированное плазмой осаждение из газовой фазы пленок переходных металлов и их силицидов
![](/vmsua5379ghkip/app/webroot/img/doctypes/7.gif)
Книга (аналит. описание)
Автор: Хесс, Д.
Плазменная технология в производстве СБИС: Гл.3. Стимулированное плазмой осаждение из газовой фазы пленок переходных металлов и их силицидов
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Хесс, Д.
Плазменная технология в производстве СБИС: Гл.3. Стимулированное плазмой осаждение из газовой фазы пленок переходных металлов и их силицидов
б.г.
ISBN отсутствует
Книга (аналит. описание)
Хесс, Д.
Гл.3. Стимулированное плазмой осаждение из газовой фазы пленок переходных металлов и их силицидов / Д. Хесс // Плазменная технология в производстве СБИС / Д. Толливер, Р. Новицки, Д. Хесс, др., Н. Айнспрук, Д. Браун . – М. : Мир, 1987 . – с. 59-72 .
Хесс, Д.
Гл.3. Стимулированное плазмой осаждение из газовой фазы пленок переходных металлов и их силицидов / Д. Хесс // Плазменная технология в производстве СБИС / Д. Толливер, Р. Новицки, Д. Хесс, др., Н. Айнспрук, Д. Браун . – М. : Мир, 1987 . – с. 59-72 .