Электронный каталог -Флэм, Д. Л. - Гл.6. Основные принципы применения плазменного травления для изготовления кремниевых приборов- Absopac

Поиск :

Личный кабинет :

Электронный каталог: Флэм, Д. Л. - Гл.6. Основные принципы применения плазменного травления для изготовления кремниевых приборов

Флэм, Д. Л. - Гл.6. Основные принципы применения плазменного травления для изготовления кремниевых приборов

Книга (аналит. описание)
Автор: Флэм, Д. Л.
Плазменная технология в производстве СБИС: Гл.6. Основные принципы применения плазменного травления для изготовления кремниевых приборов
б.г.
ISBN отсутствует

На полку

Книга (аналит. описание)

Флэм, Д. Л.
Гл.6. Основные принципы применения плазменного травления для изготовления кремниевых приборов / Д. Л. Флэм, В. М. Донелли, Д. Э. Ибботсон // Плазменная технология в производстве СБИС / Д. Толливер, Р. Новицки, Д. Хесс, др., Н. Айнспрук, Д. Браун . – М. : Мир, 1987 . – с. 140-206 .