Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Горовитц, Б. - Гл.8. Реактивное ионное травление
Горовитц, Б. - Гл.8. Реактивное ионное травление
Книга (аналит. описание)
Автор: Горовитц, Б.
Плазменная технология в производстве СБИС: Гл.8. Реактивное ионное травление
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Горовитц, Б.
Плазменная технология в производстве СБИС: Гл.8. Реактивное ионное травление
б.г.
ISBN отсутствует
Книга (аналит. описание)
Горовитц, Б.
Гл.8. Реактивное ионное травление / Б. Горовитц, Р. Дж. Сайа // Плазменная технология в производстве СБИС / Д. Толливер, Р. Новицки, Д. Хесс, др., Н. Айнспрук, Д. Браун . – М. : Мир, 1987 . – с. 253-296 .
Горовитц, Б.
Гл.8. Реактивное ионное травление / Б. Горовитц, Р. Дж. Сайа // Плазменная технология в производстве СБИС / Д. Толливер, Р. Новицки, Д. Хесс, др., Н. Айнспрук, Д. Браун . – М. : Мир, 1987 . – с. 253-296 .