Электронный каталог -Ли, Р. Э. - Гл.9. Ионно-лучевое травление- Absopac

Поиск :

Личный кабинет :

Электронный каталог: Ли, Р. Э. - Гл.9. Ионно-лучевое травление

Ли, Р. Э. - Гл.9. Ионно-лучевое травление

Книга (аналит. описание)
Автор: Ли, Р. Э.
Плазменная технология в производстве СБИС: Гл.9. Ионно-лучевое травление
б.г.
ISBN отсутствует

На полку

Книга (аналит. описание)

Ли, Р. Э.
Гл.9. Ионно-лучевое травление / Р. Э. Ли // Плазменная технология в производстве СБИС / Д. Толливер, Р. Новицки, Д. Хесс, др., Н. Айнспрук, Д. Браун . – М. : Мир, 1987 . – с. 297-321 .