Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Системы управления плазмохимическими процессами
Системы управления плазмохимическими процессами
Книга (аналит. описание)
Автор:
Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники: Системы управления плазмохимическими процессами
б.г.
ISBN отсутствует
Автор:
Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники: Системы управления плазмохимическими процессами
б.г.
ISBN отсутствует
Книга (аналит. описание)
Системы управления плазмохимическими процессами // Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники : Учеб. пособие для вузов / А. А. Сазонов, Р. В. Корнилов, Н. П. Кохан, др. ; ред. А. А. Сазонов . – М. : Высш. шк., 1991 . – с. 253-293.
Системы управления плазмохимическими процессами // Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники : Учеб. пособие для вузов / А. А. Сазонов, Р. В. Корнилов, Н. П. Кохан, др. ; ред. А. А. Сазонов . – М. : Высш. шк., 1991 . – с. 253-293.