Электронный каталог -Осаждение диэлектрических пленок и поликристаллического кремния- Absopac

Поиск :

Личный кабинет :

Электронный каталог: Осаждение диэлектрических пленок и поликристаллического кремния

Осаждение диэлектрических пленок и поликристаллического кремния

Книга (аналит. описание)
Автор:
Технология СБИС: Осаждение диэлектрических пленок и поликристаллического кремния
б.г.
ISBN отсутствует

На полку

Книга (аналит. описание)

Осаждение диэлектрических пленок и поликристаллического кремния // 1/2 : Технология СБИС : пер. с англ. / К. Пирс, А. Адамс, Л. Кац, др. ; ред. С. Зи ; ред. пер. Ю. Д. Чистяков ; пер. В. М. Звероловлев, др. . – М. : Мир, 1986 . – с. 125-173.