Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Ионная имплантация
Ионная имплантация
Книга (аналит. описание)
Ионная имплантация // 1/2 : Технология СБИС : пер. с англ. / К. Пирс, А. Адамс, Л. Кац, др. ; ред. С. Зи ; ред. пер. Ю. Д. Чистяков ; пер. В. М. Звероловлев, др. . – М. : Мир, 1986 . – с. 292-353.
Ионная имплантация // 1/2 : Технология СБИС : пер. с англ. / К. Пирс, А. Адамс, Л. Кац, др. ; ред. С. Зи ; ред. пер. Ю. Д. Чистяков ; пер. В. М. Звероловлев, др. . – М. : Мир, 1986 . – с. 292-353.