Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Анциферов, В. Н.
Изучение структуры и формирования наноразмерных ионно-плазменных покрытий Ti-Zr-N, Ti-Al-N, Ti-Zr-O-N, Ti-Al-O-N и Ti-B-Si-N / В. Н. Анциферов, А. Л. Каменева, Н. В. Пименова // Высокие технологии в промышленности России. (Материалы и устройства функциональной электроники и микроэлектроники): материалы XIII Междунар. научно-техн. конф. (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2007, 6-8 сент.). Тонкие пленки в электротехнике: материалы XX Междунар. симп. (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана 2007, 6-8 сент.) / ред. А. Ф. Белянин, др. . – М. : ЦНИТИ 'Техномаш', 2007 . – С. 328-335 .