Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Пивоваренок, С. А.
Кинетика и механизмы травления тонких пленок меди в плазме HCL / С. А. Пивоваренок, А. М. Ефремов // Высокие технологии в промышленности России. (Материалы и устройства функциональной электроники и микроэлектроники): материалы XIII Междунар. научно-техн. конф. (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2007, 6-8 сент.). Тонкие пленки в электротехнике: материалы XX Междунар. симп. (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана 2007, 6-8 сент.) / ред. А. Ф. Белянин, др. . – М. : ЦНИТИ 'Техномаш', 2007 . – С. 422-426 .