Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Ломанов, А. Н.
Установка УВН-75Р-1 с магнетронной распылительной системой / А. Н. Ломанов, Э. И. Семенов, П. В. Пащенко, В. Д. Черников // Высокие технологии в промышленности России. (Материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники): материалы XIV Междунар. научно-техн. конф.(Москва, ЦНИТИ 'ТЕХНОМАШ', 2008, 11-13 сент.). Тонкие пленки в электронике: материалы XXI Междунар. симп. (Москва, ОАО ЦНИТИ 'Техномаш', 2008, 11-13 сент.) / ред. А. Ф. Белянин, др. . – М. : ЦНИТИ 'Техномаш', 2008 . – С. 308-311 .