Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Дегтярев, А. В.
Математическое моделирование канала нейтрализации плазменного источника нейтральных пучков / А. В. Дегтярев, В. П. Кудря, Ю. П. Маишев // Высокие технологии в промышленности России. (Материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники): материалы XIV Междунар. научно-техн. конф.(Москва, ЦНИТИ 'ТЕХНОМАШ', 2008, 11-13 сент.). Тонкие пленки в электронике: материалы XXI Междунар. симп. (Москва, ОАО ЦНИТИ 'Техномаш', 2008, 11-13 сент.) / ред. А. Ф. Белянин, др. . – М. : ЦНИТИ 'Техномаш', 2008 . – С. 340-348 .