Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Аксенов, Д. С.
Получение многокомпонентных покрытий из двухканального источника фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы / Д. С. Аксенов, И. И. Аксенов, А. А. Лучанинов, Е. Н. Решетняк, В. Е. Стрельницкий, Г. А. Прибытков // Высокие технологии в промышленности России. (Материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники): материалы XIV Междунар. научно-техн. конф.(Москва, ЦНИТИ 'ТЕХНОМАШ', 2008, 11-13 сент.). Тонкие пленки в электронике: материалы XXI Междунар. симп. (Москва, ОАО ЦНИТИ 'Техномаш', 2008, 11-13 сент.) / ред. А. Ф. Белянин, др. . – М. : ЦНИТИ 'Техномаш', 2008 . – С. 391-396 .