Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Анциферов, В. Н.
Структурообразование (наноструктурирование) пленок ионно-плазменными методами (обзор) / В. Н. Анциферов, А. Л. Каменева // Высокие технологии в промышленности России. (Материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники): материалы XIV Междунар. научно-техн. конф.(Москва, ЦНИТИ 'ТЕХНОМАШ', 2008, 11-13 сент.). Тонкие пленки в электронике: материалы XXI Междунар. симп. (Москва, ОАО ЦНИТИ 'Техномаш', 2008, 11-13 сент.) / ред. А. Ф. Белянин, др. . – М. : ЦНИТИ 'Техномаш', 2008 . – С. 448-453 .