Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Жабрев, В. А.
Модель осаждения пленок оксинитридов методом реактивного распыления / В. А. Жабрев, Л. П. Ефименко, В. В. Пинаев, В. И. Шаповалов // Высокие технологии в промышленности России. (Материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники): материалы XIV Междунар. научно-техн. конф.(Москва, ЦНИТИ 'ТЕХНОМАШ', 2008, 11-13 сент.). Тонкие пленки в электронике: материалы XXI Междунар. симп. (Москва, ОАО ЦНИТИ 'Техномаш', 2008, 11-13 сент.) / ред. А. Ф. Белянин, др. . – М. : ЦНИТИ 'Техномаш', 2008 . – С. 486-495 .