Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Афанасьев, А. В.
Исследование влияния соединений хлора на процесс осаждения эпитаксиального слоя кремния на сапфире / А. В. Афанасьев, А. А. Раскин // Высокие технологии в промышленности России. (Материалы и устройства функциональной электроники и микроэлектроники): материалы XV Междунар. научно-техн. конф. (Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2009, 9-11 сент.). Тонкие пленки в электронике: материалы XXII Междунар. симп. (Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2009, 9-11 сент.) / ред. А. Ф. Белянин, др. . – М. : ЦНИТИ 'Техномаш', 2009 . – С. 430-432 .