Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Барыбин, А. А.
Развитие нанокристаллических фаз в магнетронных пленках оксида титана / А. А. Барыбин, А. Е. Комлев, А. Е. Лапшин, О. В. Магдысюк, В. Л. Уголков, В. И. Шаповалов, Л. П. Ефименко // Высокие технологии в промышленности России. (Материалы и устройства функциональной электроники и микроэлектроники): материалы XV Междунар. научно-техн. конф. (Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2009, 9-11 сент.). Тонкие пленки в электронике: материалы XXII Междунар. симп. (Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2009, 9-11 сент.) / ред. А. Ф. Белянин, др. . – М. : ЦНИТИ 'Техномаш', 2009 . – С. 433-439 .