Электронный каталог библиотеки МИСИС

Книга (аналит. описание)

Сушенцов, Н. И.
Автоматизированная установка магнетронного распыления / Н. И. Сушенцов, Д. А. Двоеглазов, А. В. Мороз, С. А. Степанов // Высокие технологии в промышленности России. (Материалы и устройства функциональной электроники и микроэлектроники): материалы XV Междунар. научно-техн. конф. (Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2009, 9-11 сент.). Тонкие пленки в электронике: материалы XXII Междунар. симп. (Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2009, 9-11 сент.) / ред. А. Ф. Белянин, др. . – М. : ЦНИТИ 'Техномаш', 2009 . – С. 516-518 .