Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Комлев, А. Е. - Оптическая эмиссионная спектроскопия при осаждении пленочных гетероструктур Ta2O5/TiO2
Комлев, А. Е. - Оптическая эмиссионная спектроскопия при осаждении пленочных гетероструктур Ta2O5/TiO2
Книга (аналит. описание)
Автор: Комлев, А. Е.
Высокие технологии в промышленности России. (Материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники): материалы XVI Междунар. научно-техн. конф. (Москва, 'ЦНИТИ 'Техномаш', 2010, 9-11 се...: Оптическая эмиссионная спектроскопия при осаждении пленочных гетероструктур Ta2O5/TiO2
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Комлев, А. Е.
Высокие технологии в промышленности России. (Материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники): материалы XVI Междунар. научно-техн. конф. (Москва, 'ЦНИТИ 'Техномаш', 2010, 9-11 се...: Оптическая эмиссионная спектроскопия при осаждении пленочных гетероструктур Ta2O5/TiO2
б.г.
ISBN отсутствует
Книга (аналит. описание)
Комлев, А. Е.
Оптическая эмиссионная спектроскопия при осаждении пленочных гетероструктур Ta2O5/TiO2 / А. Е. Комлев, Ю. И. Пастушенко // Высокие технологии в промышленности России. (Материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники): материалы XVI Междунар. научно-техн. конф. (Москва, 'ЦНИТИ 'Техномаш', 2010, 9-11 сент.). Тонкие пленки в электронике: материалы XXIII Междунар. симп. (Москва, 'ЦНИТИ' 'Техномаш', 2010, 9-11 сент.) / ред. А. Ф. Белянин, др. . – М. : ЦНИТИ 'Техномаш', 2010 . – С. 439-442 .
Комлев, А. Е.
Оптическая эмиссионная спектроскопия при осаждении пленочных гетероструктур Ta2O5/TiO2 / А. Е. Комлев, Ю. И. Пастушенко // Высокие технологии в промышленности России. (Материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники): материалы XVI Междунар. научно-техн. конф. (Москва, 'ЦНИТИ 'Техномаш', 2010, 9-11 сент.). Тонкие пленки в электронике: материалы XXIII Междунар. симп. (Москва, 'ЦНИТИ' 'Техномаш', 2010, 9-11 сент.) / ред. А. Ф. Белянин, др. . – М. : ЦНИТИ 'Техномаш', 2010 . – С. 439-442 .